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薄膜测量的椭偏仪法

简介：简述了椭偏法测量薄膜厚度的物理原理，分析了其系统误差。椭偏仪可以测量漫反射粗糙而薄的膜的厚度 和折射率，实验表明，入射角较大时，测量误差 较小，可用“多角入射法”直接判断膜厚周期的整 数倍，从而求得薄膜的真实厚度。但对于漫反射 系数和粗糙面厚度的确定还存在一些问题需要深 入探讨。
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