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MEMS材料力学性能测试方法

简介：随着机电系统(MEMS)的蓬勃发展，如何准确获得MEMS 材料力学性能参数成为当今研究的热点。由于尺度微小，试样的夹持、载荷的施加和测量、位移的测量等问题十分突出。本文对当今MEMS力学性能研究中一些典型的微测试方法，如纳米压痕法，单轴拉伸法、鼓膜法、微梁弯曲法及衬底曲率法等分别进行了阐述，详细介绍了这些方法的原理、优缺点以及可测得的力学性能参数。
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相关产品：微动摩擦磨损试验机 | Rtec-电化学腐蚀摩擦磨损试 | Rtec-高真空摩擦磨损试验机 | Rtec-超低温摩擦磨损试验机
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