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能谱探测器能量分辨率在扫描电镜/能谱(SEM/EDS)采集分析顶级数据中的作用 下载
能谱探测器能量分辨率在扫描电镜/能谱(SEM/EDS)采集分析顶级数据中的作用
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简介:能量分辨率,在获得顶级的EDS数据过程中,只代表许多因素之一。 超薄窗或无窗技术及消除SDD晶体和窗口间任何惰性气体,对低能X射线检测是关键。 对面分布应用,在几十万CPS输出计数率时,快速的电器和低电容SDD,是能量分辨率降低最小化的关键。
简介:能量分辨率,在获得顶级的EDS数据过程中,只代表许多因素之一。 超薄窗或无窗技术及消除SDD晶体和窗口间任何惰性气体,对低能X射线检测是关键。 对面分布应用,在几十万CPS输出计数率时,快速的电器和低电容SDD,是能量分辨率降低最小化的关键。 尽管一个极端的EDS分辨率条件下,会生成一个完美的谱,但强大的后处理算法提供更强大的杠杆,生成高质量,高精度EDS元素面分布。 尽管EDS探测器在过去15年中已经大大地发展了,但现在能量分辨率性能已接近物理极限。在EDS发展中其他方面的进展,占据改善EDS数据采集和分析的主要方面。
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