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使用GE TOC 500 RLe 控制沉浸式光刻工艺

简介：Sievers 500 RLe 在线型TOC分析仪用于微电子、半导体、显示器及太阳电池板的生产中，代表了微电子应用中超低水平TOC科学检测的最新进步。500 RLe 替代了Sievers PPT 型号，是行业中唯一的在线型、无试剂的TOC分析仪，能够准确检测问题化合物，如尿素、三甲胺、有机酸与有机碱。 500 RLe 采用GE 分析仪器公司的膜电导技术， 结合其他简化的TOC技术，消除“假正”与“假负”的读数，实现超低水平TOC测定的准确性与可靠性
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  • 上传人： 北京新恒能分析仪
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