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激光干涉仪精确测量的局限性

简介：激光干涉测试方法常用于高精度测量和定位，这是由于这种方法具有较高的测量分辨率和精度，甚至可以用于大尺寸范围的测量。 本文重点讨论了外差式和单频式干涉仪的基本原理，并进行了相应的计量分析来描述激光干涉法的优势和局限性。 本文还讨论了光纤耦合式微型干涉仪的设计和功能，以及在显微技术、纳米技术和高精度机电一体化等方面的广泛应用。
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