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薄膜热导率测试系统(TCT)R.pdf

简介: TCT采用3ω测试方法,利用微/纳米薄膜材料导热引起加热器电信号的变化来检测其热导率。主要应用范围为微/纳米薄膜材料的热导率测量,可广泛应用于辅助各种功能薄膜材料的研究与开发,其涵盖范围包括高等院校及科研院所、集成电路散热材料、航空航天材料、热电材料与器件、信息存储与光电器件等。
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