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光谱椭偏仪（MME）R.pdf

简介：光谱椭偏仪MME根据不同原理、特点以及应用，分为ME序列、MME序列和ME-L序列。光谱椭偏仪采用光学技术，测量精度高，适合超薄膜，与样品非接触，对样品无破坏性且不需要真空，可用于检测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构。
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