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四极质量分析器装配工艺研究(吴定柱,刘兴宝等)

简介:四极杆质谱计是目前最成熟应用最广泛的小型质谱计之一四极杆质量分析器是四极式质谱仪的核心部件,使离子在四极场中受到强聚焦作用而向分析器的中心轴聚焦 四极质量分析器零件主要精度误差都要求小于0.002mm,且组件平行度位置度误差要求均小于0.004mm,传统装配方已经很难满足精度要求 提出了一种基于手工修研的装配方法,利用该方法装配了一套150型四极质量分析器,高装配内切圆精度误差小于0.0015mm
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