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双曲面四极质量分析器制造工艺研究(吴定柱,刘兴宝等)

简介:作为研究物质基本组成结构特征物理和化学性质的最基本的仪器质仪,由于其直接测量的本质和高灵敏高分辨性,被广泛应用于环境监测食品安全生命科学等多个领域四质量分析器是四极式质谱仪的核心部件,其零件及部件主要精度误差都要求小于0.005mm,传统制造工艺已经法满足要求提出了一种零件组合和部件组合加工方法,利用该方法加工了一套双曲面型四极质量分析器,加工后件的表面粗糙度为 0.2 m两组对杆140mm范围内平行度4 m
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