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AES中的全元素深度剖析

简介:俄歇电子能谱(AES)能测量的俄歇电子只能来自样品表面约0.4-5nm的最外层,因此被称为表面分析的仪器。在实际应用中,人们还需要了解样品沿深度方向的元素分布情况,也就说需要将表面的二维分析扩展为三维深度剖析,如此仪器必须配备离子枪,对样 详细>
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