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AES定性与定量分析概述

简介:俄歇电子能谱仪(Auger electron spectroscopy,简称AES),当电子照射到样品表面时,将有带着样品特征的Auger电子从样品表面发射。我们探测Auger电子的能量和数量,可以确定出元素的种类和元素的含量。俄歇电子能谱仪可以测量元素周期表中除氢、氦以外的所有元素。实际上能够测量到的特征俄歇电子只能来自样品表面0.5-7.5nm的最外层。
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