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XPS中的全元素深度剖析

简介：深度剖析可以用来表征特定元素沿着样品深度方向上浓度的变化，拓展XPS在材料分析中的应用，而往往在做深度剖析时，需要预先知道一些样品的信息，及样品的膜层结构，同时也要知道每一层所含有的元素和大概的膜层厚度，以便于深度分析时，设定分析条件。 但是，当样品信息未知的情况下，是否可以确定样品中所含元素，纵深方向上的分布信息呢？对XPS而言，完全没有问题，可以采用全元素深度分析。图1展示了XPS全元素深度分析的图谱。
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