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纳米孔氮化镓材料的制备和研究

简介：介绍了一种在氮化镓外延片表面制备得到孔径为纳米量级 的多孔结构 的工艺.用 电化学方 法制备 出孔径为纳米量级的多孔 阳极氧化铝模板作 为掩模,经过电感耦合等离子体 (ICP)刻蚀制 备得到纳米孔氮化镓材料.孔的大小和孔 间距可以通过 详细>
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