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纳米级的俄歇元素化学态分析

简介：我们知道俄歇电子能谱可以得到样品表面0.4至5纳米深度的元素分布和含量。除此之外，我们也同时比较CMA同轴式透镜分析器与SCA半球分析器之间，在应用到俄歇分析仪器的一些优缺点。在我们可以定论说CMA比SCA更适合作为俄歇电子能谱分析前，我们主要针对物理基础和分析上的概念做进一步讨论。
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