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电镜不导电样品在不同靶材镀膜下的高倍对比

简介：离子溅射仪是现阶段配套电镜进行非导电样品镀膜的常用设备，而不同靶材镀出来的颗粒度，均匀度也是不一样的，这个资料反映出同一样品在相同成像条件（电压，倍率，束流等）下使用不同靶材的对比结果。
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