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XPS配合C60离子枪在有机膜上的应用

简介：XPS对表面化学状态的改变非常敏感，有机物由于采用单离子枪溅射时，会产生化学态损伤。如何减少因深度剖析带来的化学态变化，PHI-XPS引入了世界先进的C60团簇式离子枪。本节就C60离子枪在有机膜上的应用做相关的介绍。
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