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艾里卡特 - MCS系列质量流量控制器(腐蚀性气体) - 参数表

简介：Alicat的MS系列数字式质量流量计能精确快速地测量NH3、H2S和SiH4等腐蚀性气体的质量流量、体积流量、压力和温度，MCS&MCRS系列质量流量控制器还可通过高速比例控制阀精确地控制质量流量、体积流量和压力，其核心部件是Alicat专利的层流压差技术，确保在大流量情况仍然是线性流动，从而补偿了工艺温度和压力变化对质量流量及体积流量产生的影响。所有Alicat的气体流量和压力设备均具有NIST可溯源校准证书及有条件的终身质保。
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  • 上传人： 美国艾里卡特科技
  • 上传日期：2014-08-31
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