简介:从铱盐和配体2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮(thd)出发合成了一种新的β 二酮前驱体Ir(thd)3,通过元素分析、红外
光谱、核磁共振氢谱等手段对合成的前驱体进行了结构表征。热重分析表明,当温度升到290℃,前驱体基本挥发完全。
使用合成的前驱体通过MOCVD 沉积制备铱薄膜,利用XRD 和AFM 分析手段对薄膜的结构和表面形貌进行了表征。
结果表明,所得到的薄膜的物相为铱晶相,无其它的杂质峰存在,薄膜表面连续、致密。
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上传人: <b>上海爱建纳米
- 上传日期:2006-09-29