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在电子工业超纯水系统中的TOC影响

简介：? 水是人类所使用的最常见的试剂。超纯水是电子工业在晶圆清洁与生产中所使用的耗量最大、效用最强的溶剂。 　　在过去40年中，电子工业的发展已经推动蚀刻至硅芯片的电路数目指数级的增加。电路数目巨幅增加已使得线路宽度明显减小，从而大幅提升了所用超纯水的精确和连续测量的要求。
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