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使用动态反应池型的ICPMS分析半导体级TMAH的应用报告

简介：据SEMI 标准 C46-0306,对于25%的TMAH，通常要求其每种污染元素的浓度低于10ppb,甚至有些客户要求更低。实验表明，DRC ICP-MS非常适合于UPW领域的超低含量（ng/L级)的样品的常规定量分析。通过计算机对标准模式及反应模式的切换，使得每次样品测量干扰降低至最少。
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