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NexION300S ICP-MS测定半导体行业中使用有机溶剂的杂质

简介:半导体行业中最常用的两种有机溶剂是异丙醇(IPA)和丙二醇甲醚醋酸酯(PGMEA)。两种有机溶剂都必须检测痕量金属污染物的含量,因为这些物质的存在将会对存储设备的可靠性产生不利影响。由于具有快速测定各种工艺化学品中超痕量浓度待测元素的 详细>
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