您现在的位置:首页 > 资料中心 > 分析方法/应用文章下载 > NexION 300S ICP-MS测定半导体级TMAH中的杂质 下载

NexION 300S ICP-MS测定半导体级TMAH中的杂质

简介:四甲基氢氧化铵(TMAH)是一种广泛用于半导体光刻工艺和液晶显示器(LCD)生产中形成酸性光阻的基本溶剂。由于其在此类高要求应用中的广泛使用,使得对TMAH纯度的检测变得越来越重要。由于具有快速测定各种工艺化学品中超痕量浓度待测元素的能力 详细>
  • 所需积分:0 分
  • 下载次数:30 次
  • 获取积分:页面上方
  • 资料大小: 1149 KB
  • 上传人: PerkinElmer
  • 上传日期:2013-08-02
相关阅读
  • 资料微信群
  • 我的下载

相关评论

您的评论:推荐
还可以输入500
    上传资料
    一键询价
    仪器信息网资料中心栏目所发布的一切文档、图谱等资源仅限于学习和研究目的,版权归原属作者所有;不得将上述内容用于商业或者非法用途,否则,一切后果请用户自负。您必须在下载后的24个小时之内,从您的电脑中彻底删除上述内容。如果您喜欢该资源,请支持正版,以便得到更好的正版服务。如有侵犯到您的权益,请联系我们(download@instrument.com.cn)处理,感谢您的合作!

    安装App资料免费下

    资料微服务您的资料助手