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超高真空双电子枪(Dual E-Gun)镀膜系统工作原理示意图
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简介:超高真空双电子枪(Dual E-Gun)镀膜系统工作原理示意图: 电子枪利用高压电子束轰击,并加热靶材,使靶材分子离开表面并进行镀膜。 台湾铠柏所生产UHV-E-Gun DE1 具有双电子枪,和六个基片座的Manipulator, 可大幅提高工作效率。
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