简介:在BCEIA‘99上英国VG公司、美国PHI公司和岛津KRATOS公司分别以图片或样本的方式
展示了他们的最新产品和技术,岛津KRATOS公司举办了“高空间分辨X射线光电子能
谱仪的发展及应用”技术交流。自从商品化X射线光电子能谱仪问世以来经历了二十多简介:在BCEIA‘99上英国VG公司、美国PHI公司和岛津KRATOS公司分别以图片或样本的方式
展示了他们的最新产品和技术,岛津KRATOS公司举办了“高空间分辨X射线光电子能
谱仪的发展及应用”技术交流。自从商品化X射线光电子能谱仪问世以来经历了二十多
年的发展,目前其发展潮流:(1)低价位的常规分析仪器(2)小面积成像XPS仪器。
常规分析仪器
VG公司
该公司的SIGMAPROBE是最新推出的适用于工业在线分析的小面积XPS仪器。其具有快
速、高灵敏度、操作简单等优点。灵敏度提高7倍以上。分析面积15μm ,靠probe
light与微聚焦X光源相吻合来定位。
KRATOS公司
AMICUS是KRATOS公司推出的低价位常规表面分析仪器。该仪器具有高灵敏度与高分辨
率、全自动样品操作、分析大批量样品、小型化设计等特点。其分析器是根据带低通
过滤波器与高通过滤波器‘Dupont’设计的。
小面积成像XPS仪器
PHI公司
该公司生产的Quantum2000 XPS/ESCA扫描X光电子微探针,其主要的技术性能为
0.5~5nm材料表面元素和化学态信息,巧妙地X-ray扫描,≤10μ空间分辨率,低能中
和枪消除分析过程中表面荷电效应。
VG公司
ESCALAB 250 是VG公司继ESCALAB 220 以后推出的小面积成像XPS 仪器,目前国内
已有两台。其具有一磁透镜,可以配置大样品制备室,可以分析8英寸大的样品,空间
分辨率优于3μm 。
KRATOS公司
该公司提出了三种型号的AXIS系列小面积成像XPS仪器。AXIS HIS和165都包括有同轴
磁透镜(专利)、同轴电荷中和器(专利)和同轴静电传输透镜技术,八级偏转系统
得到XPS图象。其优点室高效数据采集,高性能小斑点固定。AXIS Ultra仪器,其能
谱模式:标准输入透镜,电子在标准光电子能谱中使用的内与外半球之间散射,保持
平行成像,快速、实时成像。该仪器可以达到平行成像在几秒钟之内实现,可变的FOV
(视野)>2mm-100μm ,以FAT模式工作的球面镜分析器,空间分辨率<3μm 。该仪
器可以实现全扫描、窄扫描、线扫描和元素象多谱图象,重叠大面积XPS图象(几个
cm2)使平行图象成为实际有用的技术。
成像XPS优缺点
优点:可分析半导体和绝缘体
有广泛的元素成像分析能力
可做化学态成像
结果直观,易解释
非破坏性分析方法,可分析有机单层
缺点:空间分辨率低,3-5μm 。
(显微结构评议组)
New Advantage of XPS Instrumentation
During BCEIA’99 there were three companies showed their new
instruments for x-ray photoelectron spectroscopy analysis with
catalogues and pictures. The recent development reend were revealed:
The routine analysis instrument is designed to analysis small surface
features with speed and precision.
The high performance instrument of small area XPS and imaging XPS
will be showed.
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