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比表面分析之量测讯号分类

简介：不同的表面分析技術，會量測不同的迅號源，一般而言，常用量測的訊號源有光子、離子以及電子<圖1-11>。其中光子因穿透深度以及訊號逃離深度都很大，較少用。離子因具有高偵測靈敏度、高解析度以及高表面靈敏性（surface sensitive），是理想的表面分析訊號源，用於在二次離子質譜儀（SIMS）分析技術。因電子訊號有表面靈敏性、高解析度、以及訓號易處理等優點，最常見當作表面分析技術的訊號源。
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