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D07-7B质量流量控制器说明书

简介:编号 项 目 D07-7B 型 1 流量规格 ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM 2 准确度 ±1.5 % F.S 3 线性 ±1 % F.S 4 重复精度 ±0.2 %F.S 5 响应时间 电特性: 10 sec 详细>
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