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JS-1600小型离子溅射仪说明书2011.10版本

简介：小型离子溅射仪的主机，它控制工作室内的真空和向离子溅射单元提供电源及真空保护，以保证仪器能正常工作。 电源指示灯：指示电源 针 阀（充气阀）：向工作室内充气，以调节溅射电流的大小。 真空指示表：指示真空度 电流表：显示溅射电流值 单位(mA)。 定时开关：控制溅射时间。 手动溅射按纽：进行手动溅射操作 溅射电流控制按纽：调节溅射电流大小。 主电源开关：控制仪器的电源通断及机械泵。
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  • 上传人： 北京和同创业
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