简介: X射线荧光光谱法进展(27)
——XRF分析仪器的发展
3.2.11 Si半导体探测器
(1)Si (Li)探测器
这是最早出现的一种半导体探测器。一般需要液氮制冷(即便不工作也需要),这就使得其体积较大,且应用不方便。近年出现电制冷的Si (Li)探测器,但仍需制冷到-90℃,且运输时也要维持离子真空泵的工作,仍不太方便。一般能量分辨率可达150eV,可工作的计数率一般为几千cps。
(2)Si PIN探测器
这就是前面提到的发射到火星上的探测器。主要的优点是电制冷,体积小重量轻。只需冷却至-20℃。分辨率仍较差,一般为250 eV,最新的可到158eV。由于分辨率对轻元素更差,加之Be窗也还不够薄,所以轻元素的探测较差,一般可用在Al及以后的元素的探测。对中等以上的元素,其探测效率和分辨率还是足够的。
(3)SDD探测器
硅漂移室探测器(Silicon Drift Chamber Detector)是最近几年出现的新型半导体探测器,也是首先为空间科学开发的。其分辨率可与Si (Li)探测器和比,一般优于200eV,最新的可达到127eV。电制冷到-10℃可实现所需的分辨率,也可在常温下工作,但分辨率较差。另一特征是其高计数率,一般可工作在100000~200000cps的计数率下,为缩短测量时间及提高测量精度提供保证。
(4)CCD
受空间科学、软X射线及X射线偏振的刺激而发展。是与检测软X射线,易于制成多位元阵列。
CCD的二维检测技术可检测单个X射线光子产生的电荷云的形状,以极佳的分辨率直接定量观测X射线偏振。