简介:全面垂直层流洁净室气流组织的三个参数( 不均匀性 N 通风效率 E , U, a流线平行度) 影响着芯片 的成品率.本文从以下方面论述了洁净室的气流组织的影响因素: 送风方式, 洁净度不同的速度介面, 洁 净室内设备及操作人员, 洁净室的地板和盲板, 灯具, 缝隙等, 为以后的精确分析洁净室的洁净度和对洁净 室的气流组织优化提供帮助.
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- 上传日期:2011-03-08