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基于微机电子系统技术高性能气相色谱柱的制备.caj

简介：摘　要　基于微机电系统(Micro-electro-mechanical systems,MEMS)技术,制作了微型气相色谱柱,并对其性能 进行了研究。与传统色谱柱相比,此微型色谱柱具有体积小,分析速度快等特点,适用于在线检测分析与监 测。本研究利用深刻蚀技术与动态涂 详细>
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