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简介:三氯氢硅是生产多晶硅的原料,但其中的微量杂质会大大影响多晶硅的导电性能,从而影响太阳能电池的转换效率。本文建立了气相色谱质谱(GCMS)测定三氯氢硅中的杂质甲基二氯氢硅的方法。甲基二氯氢硅在1~100 ng/mL的范围内,相关系数r大于0.997,且方法的重现性好,相对标准偏差小于3%。
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