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ICP—OES在测定三氯氢硅中硼磷含量的应用

简介：由于目前国家还没有针对工业三氯氢硅产品中硼、磷等杂质的分析标准．加上磷、硼等元素的离子发射谱线波长较短，分析谱线均在250 nm以下，属于近紫外光区范围，给仪器分析带来一定难度。各生产厂家和使用厂家均使用各自的企业标准，分析方法也不尽 详细>
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