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激光干涉仪是如何测量位移的

简介：在本文中，我们介绍了目前国际上常用的激光干涉相关技术，详细法布里珀罗谐振腔原理，并以频率扫描干涉法(FSI)为例分析目前发展现状。
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  • 上传人： 上海昊量光电设备
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