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190-400nm高分辨紫外波前传感器助力半导体行业发展!

简介：昊量光电推出全新一代高分辨率紫外波前传感器，探测波段覆盖190-400nm，相位采样分辨率达到512x512nm。 高分辨率紫外波前传感器具有可测试汇聚光斑，高动态范围，大通光面（13.3mm x13.3mm），高分辨率(512x512)，消色差，震动不敏感等特点。 SID4-UV-HR紫外波前分析仪可以用于紫外光学元件表征（用于光刻、半导体等领域）和表面检测（透镜和晶圆等）。
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  • 上传人： 上海昊量光电设备
  • 上传日期：2024-05-21
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