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应用说明—Candela CS20R针对化合物半导体和光电材料的先进检测

简介：Candela? CS20R系统致力于服务光电技术、LED、通信和其他化合 物半导体市场。Candela CS20R使用多通道检测和基于规则分类的 经典Candela技术，可以针对多种材料系统的晶圆上的影响良率的 缺陷进行检测和确认。 标准Candela技术采用专有的OSA（ 详细>
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