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产品手册—半导体行业功能包Nano Indenter G200X

简介：纳米压痕仪是一种准确的、灵活的、便于使用的纳米力学测试仪器，适用于在各种薄膜和表面上进行纳米级力学测试。KLA的纳米压痕系统使用电磁力驱动，使其在力和位移方面均具有大的动态范围。这些系统能够按照ISO14577 标准测量材料的杨氏模量和硬 详细>
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