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应用说明—ZetaScan800针对显示和太阳能应用的缺陷检测解决方案

简介：ZetaScan 800致力于服务显示和太阳能市场。 ZetaScan是采用激光技术的无图案晶圆/面板检测系统，并运用多通道检测技术对缺陷进行检测和分类。 该系统可以灵活地保存原始图像，以便直接使用该设备或离线进行缺陷 review。输出的检测报告包括缺 详细>
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