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原位拉曼系统--实时监测半导体薄膜生长全过程

简介：原位拉曼系统可以实时监测半导体薄膜生长全过程，利用共聚焦拉曼光谱的“In-Situ” 方式，在石英炉中原位观察半导体薄膜生长过程，并且通过监控不同的生长因素对薄膜生长的影响，优化生长工艺，大大节省了人力、物力和调试时间。经过实验证明，该装置有高度重复性，并成功帮助半导体薄膜材料研究课题组和多家半导体薄膜材料生产企业进行半导体薄膜生产。
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  • 上传人： 上海昊量光电设备
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