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微区电学性质测量的双探针扫描电子显微镜

简介：目前，国内外正在研发基于扫描电镜系统的多功能原位物性分析与测试系统，以满足材料研究的需要，但还没有形成定型的产品。在不改变现有SEM性能指标的基础上，增加三维微区测试探针和可变温的样品台用于原位的电学性质研究，实现系统分析测试的原位与多功能性。
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