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Attolight Santis 300 工业晶圆级定量阴极发光CL-SEM检测系统 中文手册 下载
Attolight Santis 300 工业晶圆级定量阴极发光CL-SEM检测系统 中文手册
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简介:S?ntis 300系统设计用于150、200和300 mm晶圆的全自动缺陷检测。Attolight的定量CL-SEM提供“不折不扣”的大视场快速扫描,同时采集SEM图像、高光谱CL图和光谱。较小直径的晶圆或其他形状的衬底通过手动加载到中间300 mm的夹持器上,随后由系统自动处理。
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