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一种半导体加工设备排气处理装置.pdf

简介：本实用新型公开了一种半导体加工设备排气处理装置,属于尾气处理技术领域,解决了现有的半导体加工设备的尾气处理存在处理效果差的问题,其技术要点是：排气管内设置有便于通入氮气的导气管,导气管的外侧连接有加热机构,排气管内还设置有过滤 详细>
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