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一种半导体加工设备.pdf

简介：本实用新型涉及一种半导体加工设备,包括进气部、升降部以及腔体,进气部包括螺旋进气管,螺旋进气管设置在腔体的内部,升降部与进气部连接以控制螺旋进气管在腔体的内部升降,螺旋进气管的主体被构造成由多个弧形部形成的对称结构,多个弧形部 详细>
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