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半导体晶圆位置检测装置.pdf

简介：一种半导体晶圆位置检测装置,包括：腔室,顶部具有腔室开口；透明窗口,设置在真空的腔室的开口处,与腔室开口形成密封连接；承片台,位于真空腔体内部；晶圆,位于承片台上；发光装置,位于腔室外部,且位于透明窗口的上方；反光装置,在腔室中,且位于 详细>
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