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一种改善直拉半导体单晶品质的液位探针.pdf

简介：本实用提供一种改善直拉半导体单晶品质的液位探针,包括：定位装置,所述定位装置安装于水冷套的内壁,用于限定液位探针的安装位置；隔绝装置,所述隔绝装置用于隔绝所述液位探针和所述水冷套；液位测量装置,所述液位测量装置用于测量液位；所述 详细>
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