简介:本实用新型涉及一种光刻系统,包括光筒、用于移动目标诸如晶片的可移动目标载体,以及差分干涉仪模块,其中所述干涉仪模块适用于向着第二反射镜发射三个参考射束,并且向着第一反射镜发射三个测量射束,以便确定所述第一反射镜和第二反射镜之间的位移。在一个优选实施例中,相同模块适还用于测量绕着两个垂直轴的相对旋转。本实用新型还涉及一种用于测量这种位移和旋转的干涉仪模块。
- 所需积分:50 分
- 所需积分:50 分0分
- 下载次数:1 次
- 获取积分:页面上方
- 资料大小: 1221 KB
-
上传人:dahua1981
- 上传日期:2023-04-27