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一种化合物半导体外延片霍尔样品制备装置.pdf

简介：本发明公开了一种化合物半导体外延片霍尔样品制备装置,涉及化合物半导体外延片霍尔测试领域,所述化合物半导体外延片霍尔样品制备装置包括加热平台、定位件和按压件,加热平台包括平台本体、样品定位槽、加热元件和测温元件,样品定位槽的形状 详细>
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