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等离子体调节装置、方法、生成装置和半导体加工装置.pdf

简介：本发明涉及一种等离子体调节装置、等离子体调节方法、等离子体生成装置和半导体加工装置,该等离子体调节装置包括第一支撑件、第二支撑件和锁定件；其中,第一支撑件与线圈固接；第二支撑件与腔室固接；线圈设置于腔室的外部,用于在线圈通电后,在 详细>
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