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一种半导体生长炉用调节控制系统及其调节.pdf

简介：本发明公开了一种半导体生长炉用调节控制系统及其调节方法,包括第一支架,第一支架的一端表面固定连接有第二支架,第一支架的上端表面位于一端边缘处固定安装有承载座,承载座的上端表面设置有炉盖,炉盖的底端表面固定连接有炉体,本发明涉及 详细>
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