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片盒及其承载装置和取放装置、半导体处理设备.pdf

简介：本发明提供一种片盒及其承载装置和取放装置、半导体处理设备,承载装置包括相对间隔设置的多个承载组件以及至少一个升降机构,多个承载组件用于活动设置在片盒内；升降机构与多个承载组件连接,升降机构能够使得多个承载组件升降,以调整多个承载组件之间的距离。本发明的承载装置可以通过调整多个承载组件之间的距离,很好的解决从片盒的承载装置中取放晶片时避免对晶片表面造成划痕、脏污、磕碰损伤、错位放入,对晶片表面有效的保护,避免造成损伤。
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