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一种半导体结构及其制备方法.pdf

简介：本发明提供一种半导体结构及其制备方法,所述方法包括：提供晶圆和基体；在部分厚度的所述晶圆中形成盲孔；在所述盲孔中形成填充层,所述填充层的硬度小于所述晶圆的硬度；将所述晶圆背向所述盲孔的一侧减薄直至露出所述填充层；在所述填充层中 详细>
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